表面汙染 – 相弘科技 – MetroCanS https://metrocans.com.tw Tue, 15 Oct 2024 08:00:41 +0000 zh-TW hourly 1 https://metrocans.com.tw/wp-content/uploads/2024/07/cropped-公司Logo-32x32.png 表面汙染 – 相弘科技 – MetroCanS https://metrocans.com.tw 32 32 XRF元素分析儀 https://metrocans.com.tw/product/xrf%e5%85%83%e7%b4%a0%e5%88%86%e6%9e%90%e5%84%80/ Mon, 29 Jul 2024 13:19:48 +0000 https://metrocans.com.tw/product/%e5%be%ae%e7%b2%92%e5%ad%90%e6%aa%a2%e6%b8%ac%e8%a8%ad%e5%82%99-copy-2/ 技術原理 | 利用高能X射線激發樣品放出特定元素的螢光，用以定性定量分析 應用 | 零件表面微汙染(製程殘留汙染/副產物)檢測、元素分析 設計目的 | CVD製程與蝕刻製程腔體內，由於會使用特氣及化學品，常見副產物與殘留汙染留在腔體重要零配件上，進而影響到製程之均勻性及良率，包含包括膜厚度、均勻性、偏移率和NH3流量等 系統特色 |
  • 非破壞性，精準無損檢測
  • 廣泛元素檢測，含銅(金屬污染)、氟(清洗殘留)
實績案例|
  • 以FCVD製程應用為例，會造成Dep.與Clean過程中，RPS腔體內部和零配件表面會受到電漿中H和F的影響，如Dome表面的化學組成會造成表面粗糙度與反射率改變，進而到製程結果。透過工件元素濃度分布檢測 了解半導體零件氟殘留，掌握零配件性能，進而調整符合現場的配方要求，穩定製程結果
客戶效益 |
  • 建立精準PM&PAR 指標
  • 節省調機人力
  • 降低監控負擔 提高量測產能
  • 增加tool uptime 不塞貨
]]> 技術原理 | 利用高能X射線激發樣品放出特定元素的螢光，用以定性定量分析 應用 | 零件表面微汙染(製程殘留汙染/副產物)檢測、元素分析 設計目的 | CVD製程與蝕刻製程腔體內，由於會使用特氣及化學品，常見副產物與殘留汙染留在腔體重要零配件上，進而影響到製程之均勻性及良率，包含包括膜厚度、均勻性、偏移率和NH3流量等 系統特色 |
  • 非破壞性，精準無損檢測
  • 廣泛元素檢測，含銅(金屬污染)、氟(清洗殘留)
實績案例|
  • 以FCVD製程應用為例，會造成Dep.與Clean過程中，RPS腔體內部和零配件表面會受到電漿中H和F的影響，如Dome表面的化學組成會造成表面粗糙度與反射率改變，進而到製程結果。透過工件元素濃度分布檢測 了解半導體零件氟殘留，掌握零配件性能，進而調整符合現場的配方要求，穩定製程結果
客戶效益 |
  • 建立精準PM&PAR 指標
  • 節省調機人力
  • 降低監控負擔 提高量測產能
  • 增加tool uptime 不塞貨
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