設備端量測平台 – 相弘科技 – MetroCanS https://metrocans.com.tw Mon, 05 Aug 2024 06:58:34 +0000 zh-TW hourly 1 https://metrocans.com.tw/wp-content/uploads/2024/07/cropped-公司Logo-32x32.png 設備端量測平台 – 相弘科技 – MetroCanS https://metrocans.com.tw 32 32 HDP氣體噴嘴流量檢測儀 https://metrocans.com.tw/product/hpd%e6%b0%a3%e9%ab%94%e5%99%b4%e5%98%b4%e6%b5%81%e9%87%8f%e6%aa%a2%e6%b8%ac%e5%84%80/ Mon, 29 Jul 2024 13:19:53 +0000 https://metrocans.com.tw/product/%e5%be%ae%e7%b2%92%e5%ad%90%e6%aa%a2%e6%b8%ac%e8%a8%ad%e5%82%99-copy-6/ 技術原理 | Vortex渦流量計 應用 | 氣體流量偵測 設計目的 | HDP chamber的side nozzle往往因oxide副產物堆積而導致阻塞和流量變化，影響厚度map。現行方法使用單管流量檢測儀器檢驗，無法完整反應side nozzle的影響。 系統特色 |
  • 無需拆卸噴嘴即可一次性量測所有Nozzle的地端移動檢測設備
  • 結合了Golden比較功能和UCL/LCL設定，協助設備定期保養維護PM工作判定回線標準，確保生產線運行更穩定且成功率更高
客戶效益 |
  • 提升PM回線成功率 30%至80%
  • 降低人力成本
  • 提高設備運行時間及生產能力
]]> 技術原理 | Vortex渦流量計 應用 | 氣體流量偵測 設計目的 | HDP chamber的side nozzle往往因oxide副產物堆積而導致阻塞和流量變化，影響厚度map。現行方法使用單管流量檢測儀器檢驗，無法完整反應side nozzle的影響。 系統特色 |
  • 無需拆卸噴嘴即可一次性量測所有Nozzle的地端移動檢測設備
  • 結合了Golden比較功能和UCL/LCL設定，協助設備定期保養維護PM工作判定回線標準，確保生產線運行更穩定且成功率更高
客戶效益 |
  • 提升PM回線成功率 30%至80%
  • 降低人力成本
  • 提高設備運行時間及生產能力
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