技術原理 | 雷射干涉

應用 | 高潔淨度環境/設備微塵粒汙染檢測，如無塵室、EFEM設備前端模組、生產機台旁、倉儲空間

系統特色 |

• 自動化持續運作| 24小時全自動運作，確保持續檢測
• 彈性佈點設計| 輕巧靈活，無死角監控，製程環境一目了然
• 智慧連接CIM| 符合SECS/GEM通訊協定，輕鬆連接CIM監控，並支援外掛SENSOR，隨時隨地掌握生產狀況
• 安全切換| 廠務壓降立即切換至UPS供電，系統持續穩定運作