技術原理 | 自動光學檢測
應用 |
1. 孔徑檢測：
使用自動光學檢測技術，精確檢測半導體零件上微小孔徑的尺寸和位置，確保符合規格要求，並避免製造缺陷。
2. 真圓度檢測：
應用於檢測半導體零件上的圓形特徵，如孔洞的真圓度，以評估零件精度、品質與變形量分析。

系統特色 |
1. 高精度：使用高分辨率相機和精密光學設備，能夠檢測微小的缺陷和尺寸誤差。
2. 自動化：全自動化的檢測過程，提升檢測速度和效率，降低人力成本。
3. 可擴展性：系統可根據需求擴展應用範圍，如表面瑕疵檢測、尺寸測量、連通性檢測等，以滿足不同應用需求。