技術原理 | Vortex渦流量計

應用 | 氣體流量偵測

設計目的 |

HDP chamber的side nozzle往往因oxide副產物堆積而導致阻塞和流量變化，影響厚度map。現行方法使用單管流量檢測儀器檢驗，無法完整反應side nozzle的影響。

系統特色 |

• 無需拆卸噴嘴即可一次性量測所有Nozzle的地端移動檢測設備
• 結合了Golden比較功能和UCL/LCL設定，協助設備定期保養維護PM工作判定回線標準，確保生產線運行更穩定且成功率更高

客戶效益 |

• 提升PM回線成功率 30%至80%
• 降低人力成本
• 提高設備運行時間及生產能力